近日，被誉为“光刻机第一股”的华卓精科的科创板IPO申请获上交所受理。招股书披露，华卓精科是国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，公司主营业务以光刻机双工件台为核心的超精密测控装备整机及部件。本次冲刺科创板，公司拟募资10.35亿元，投向半导体装备关键零部件研发制造项目。

专注超精密测控技术

华卓精科也是一名出自新三板的考生。2015年12月11日，华卓精科股票曾在全国股转系统挂牌公开转让，公司股票自2019年2月13日起终止在全国股转系统挂牌。华卓精科成立于2012年5月9日，实际控制人为朱煜。截至招股说明书签署日，朱煜为公司董事、核心技术人员、首席科学家，直接持有公司3429.3154万股股份，占公司总股数的35.72%。

招股书显示，华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商。

据介绍，公司致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。主营业务方面，华卓精科主要从事光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产及销售和技术服务，目前属于国家鼓励类产业。

公司通过向下游集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业内公司销售包括光刻机双工件台在内的超精密测控装备整机及部件，并根据客户在精密度等方面的具体需求提供相应的技术开发服务实现收入和利润。

技术先进性方面，公司的关键技术主要有光刻机双工件台技术、晶圆级键合设备技术、激光退火设备技术、精密运动系统技术及静电卡盘技术。公司表示，在光刻机双工件台技术方面，公司DWS系列光刻机双工件台可实现优于4.5nm的运动平均偏差，已于2020年4月向上海微电子发货；公司的DWSi系列光刻机双工件台运动平均偏差优于2.5nm，可应用于ArFi光刻机，有望于2021年实现生产。

产品方面，公司以光刻机双工件台为核心，并以该产品的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品，以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品。

截至本招股说明书签署日，通过单独申请、受让以及共同申请的方式，公司拥有175项专利，其中发明专利139项、实用新型29项、外观设计2项、美国专利5项。

营收规模快速增长

财务数据显示，2017年至2019年（简称“报告期内”），华卓精科的营收分别为5410.22万元、8570.92万元、1.21亿元；同期对应的净利润分别为1253.21万元、1512.36万元、2087.24万元。报告期各期末，公司总资产金额分别为22871.76万元、42938.03万元、86851.70万元，公司营业规模和资产规模均快速增长。

作为技术密集型企业，核心技术对公司的发展起着举足轻重的作用。报告期内，公司研发投入占营收的比例分别为30.75%、96.33%和117.24%；研发人员占员工总数的比例分别为9.24%、33.17%和33.95%。公司表示，随着市场的变化，存在因核心技术人员流失或工作失误，导致核心技术泄露的风险，若同行业竞争企业获悉公司核心技术，将对公司的生产经营和发展产生不利影响。

应收账款方面，报告期各期末，公司应收账款净额分别为2960.31万元、4216.34万元和8605.77万元，占流动资产的比例分别为15.86%、12.91%和14.83%。公司应收账款规模的增加，加大了公司的经营风险。对此，公司也提示称，未来如果经济形势恶化或者主要客户自身发生重大经营困难，公司将面临应收账款回收困难的风险。

报告期内，公司向前五名客户的销售收入金额分别为4434.35万元、4305.34万元和6479.63万元，占当期主营业务收入的百分比分别为81.96%、50.23%和53.57%。公司表示，自2017年起，公司在光刻机双工件台产品基础上，不断拓展销售渠道，销售收入随之增长，客户集中度呈现下降趋势。

公司还对行业政策变动可能带来的风险进行了提示。根据招股书，华卓精科所处的半导体设备行业会受到下游的半导体市场以及终端消费市场需求的变动而呈现一定程度的周期波动。如果未来下游半导体的终端需求有所减弱，行业景气度下降，导致下游客户削减资本性支出，将会减少半导体设备行业的市场需求，从而对公司的持续发展产生不利影响。

尚未实现规模化量产

据招股书披露，华卓精科的光刻机双工件台产品仍处于小批量定制生产阶段，尚未实现规模化量产。公司针对国产高端IC前道光刻机的需求推出了DWS和DWSi两种系列的双工件台，前者主要适用于干式步进式扫描光刻机，目前已向上海微电子完成交付；后者适用于浸没式光刻机，目前仍处于研发阶段。

值得一提的是，截至目前，向华卓精科采购光刻机双工件台的客户仅有上海微电子一家。报告期内，公司光刻机双工件台销售收入分别仅有1521.37万元、795.00万元和0万元，占主营业务收入比重分别为28.12%、9.28%和0%，波动较大。对此，公司表示，若公司研发的光刻机双工件台因技术或客户需求等原因导致产业化不及预期，则可能对公司未来的经营业绩造成不利影响。

此外，由于华卓精科的主要产品是光刻机双工件台、超精密测控装备及关键零部件等产品及相关的技术成果等。一般情况下，在每年的上半年由客户向公司下订单，公司于下半年特别是第四季度向客户交付相关的技术成果或产品。对此，公司表示，每年上半年形成的收入相对较低，而下半年形成的收入相对较大，特别是第四季度的收入一般而言占全年的收入比重是四个季度中最高的。因此，公司提示季节性经营业绩波动的风险。

本次拟募资10.35亿元用于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心、集成电路装备与零部件产品创新项目、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目、企业发展储备资金。

公司表示，未来将持续进行研发投入，不断突破核心技术并持续推出新产品，进一步提升自主研发及创新能力，在市场持续的竞争环境中确立优势地位；同时，根据下游客户的需求不断优化产品性能，并进一步对现有产品和技术进行改造升级，持续扩大产能并提升产品质量，为客户提供可靠、高性能的产品。