- 南大光电:控股子公司自主研发的ArF光刻胶产品通过客户认证
- 2020年12月17日来源:中国证券报·中证网
提要:南大光电12月17日晚间公告称,公司控股子公司宁波南大光电自主研发的ArF光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。
南大光电12月17日晚间公告称,公司控股子公司宁波南大光电自主研发的ArF光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。“ArF光刻胶产品开发和产业化”是宁波南大光电承接国家“02专项”的一个重点攻关项目。本次产品的认证通过,标志着“ArF
光刻胶产品开发和产业化”项目取得了关键性的突破,成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶,为全面完成项目目标奠定了坚实的基础。
南大光电表示,ArF光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,可以用于 90nm-14nm
甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制造(如逻辑芯片、 AI 芯片、5G
芯片、大容量存储器和云计算芯片等)。ArF光刻胶的市场前景好于预期。随着国内IC行业的快速发展,自主创新和国产化步伐的加快,以及先进制程工艺的应用,将大大拉动光刻胶的用量。
南大光电称,本次通过客户认证的产业化意义大。本次验证使用的50nm闪存技术平台,在特征尺寸上,线制程工艺可以满足45nm-90nm光刻需求,孔制程工艺可满足65nm-90nm光刻需求,该工艺平台的光刻胶在业界有代表性。
版权及免责声明:
1. 任何单位或个人认为南方企业新闻网的内容可能涉嫌侵犯其合法权益,应及时向南方企业新闻网书面反馈,并提供相关证明材料和理由,本网站在收到上述文件并审核后,会采取相应处理措施。
2. 南方企业新闻网对于任何包含、经由链接、下载或其它途径所获得的有关本网站的任何内容、信息或广告,不声明或保证其正确性或可靠性。用户自行承担使用本网站的风险。
3. 如因版权和其它问题需要同本网联系的,请在文章刊发后30日内进行。联系电话:01083834755 邮箱:news@senn.com.cn