近年来,随着信息技术的快速发展,半导体产业成为了国家经济发展的重要支柱之一。然而,要想在全球半导体市场中获得持续性竞争优势,我国需要建立完善的半导体产业生态体系,加强产业链供应链协同,提升整体竞争力。

超纯水作为半导体产业链的重要一环,在行业中发挥着不可忽视的作用。以高频科技为代表的本土超纯水企业,一方面不断加强技术研究和原始创新,实现关键技术突破,以创新驱动产业高质量发展。另一方面加强全球产业链供应链的协作,提升资源整合能力,引领本土供应链应对产业变革。

超纯水“守护”清洗工序,是半导体产业链重要一环

对于半导体产业而言,高质量的超纯水是确保高效生产的基石之一。芯片清洗过程离不开超纯水,超纯水清洗可以让芯片生产过程中的微量玷污,如灰尘、油脂、金属离子等得到去除,从而保证芯片表面的纯净度和性能,提升芯片生产的良品率。对尖端圆晶厂而言,1%良品率的提升意味着上亿美元的净利润。而如果水质不达标,不仅难以满足芯片清洗需求,水中的杂质还可能会在芯片表面残留而影响芯片的电子性能,从而降低芯片的质量和良率。

随着器件尺寸缩小、结构复杂化,芯片对杂质敏感度提升,清洗工序也愈加精细化。90nm 的芯片清洗工艺约 90 道,20nm 的清洗工艺则达到 215 道。随着芯片进入 16nm 以及 7nm 以下,清洗工艺的道数将会加速增长。伴随芯片迈向先进制程,对清洗所用超纯水的指标提高,背后的制备工艺也越发复杂,本土超纯水企业的工艺能力将面临考验。

高频科技以先进超纯水工艺,助推半导体产业整体竞争力提升

通过建立完善的超纯水供应体系,可以提高半导体制造的效率和质量,降低生产成本,增强国内半导体产业的竞争力。作为立足于超纯工艺能力的工业级技术服务商,高频科技一直致力于为半导体高端制造等行业客户,提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,协助半导体企业提升竞争力和可持续发展能力。

高频科技基于多年研发创新和半导体水系统经验积累,目前已经完全掌握了先进半导体制程需要使用的超纯水生产的全部核心工艺,特别是在PPB级别的TOC,溶解氧去除,以及PPT级别的硼、硅等特殊物质的去除方面有自己的成熟经验,所产超纯水电导率无限接近 18.24MΩ 的理论极限值,其纯度可达 99.9999999999%(PPT 级别——万亿分之一),为半导体良率和生产效率带去保障,并不断满足行业日趋提升的用水需求。

此外,为满足半导体企业提升工业用水效能,降本挖潜增效的需求,高频科技依托自有优秀半导体水系统专家,在确保超纯水水质纯度稳定达标的基础之上,研发交付了超过30种可选回用水工艺技术,包括砂滤及碳滤器反洗水回用、砂滤及碳滤器正冲水回用、反渗透浓缩水回用、EDI和UF浓缩水回用、反渗透冲洗水回用、冷却塔排放水回用、低浓度有机废水回用等,已实现水制程回收率达75%-90%,助力企业降本增效,走上绿色高质量发展之路。

整个半导体超纯水系统的稳定有效的运行,还涉及到容器与管道接触材料,设备维护和日常管理,自动化控制等环节。为此,高频科技通过合理的终端材料和规格选择、系统管路设计的优化,以及应用先进的超纯水装置控制系统,确保超纯水系统和水质的稳定,为半导体芯片生产保驾护航。同时研发创立标准化运维服务专家模型,为半导体企业定制包括常规周期巡检、可预见式养护、应急故障处理等在内的一体化专家运维服务体系,通过数字化运维既能让客户感到省事和舒心,又能凭借科学管理实现降本增效。

纵观产业历史,半导体的竞争从来不是企业的单打独斗,而是要更加深入地融入到产业链供应链中。高频科技等本土超纯水企业,不断苦练“内功”,深耕超纯工艺技术的研发与创新,同时通过经验分享和优势互补,提升产业合作水平,护航“国芯”发展,助力半导体产业迎来更广阔发展空间。