至纯科技2月7日晚间披露第四期股票期权与限制性股票激励计划（草案），拟授予激励对象权益总计300万份，占本激励计划草案公告日公司股本总额的0.94%，首次授予240万份。

其中，拟授予激励对象股票期权165万份，首次授予132万份；拟授予激励对象限制性股票135万股，首次授予108万股。首次授予的激励对象共计76人，授予的股票期权的行权价格为46.50元/股，限制性股票的授予价格为23.25元/股。

本次披露的激励计划中对于授予股票期权及限制性股票的行权期和解除限售期均设置了业绩考核目标，分别为2022年净利润达到1.8亿元、2023年净利润达到2.3亿元、2024年净利润达到3.6亿元。

公司年报显示，至纯科技2020年实现营业总收入14亿元，同比增长41.6%；实现归母净利润2.6亿元，同比增长136.4%；每股收益为1.01元。2021年前三季度，公司实现净利1.88亿元，同比增长127.96%。

其中，“高纯工艺系统”是公司营业收入的主要来源，其次为“光传感及光器件”和“半导体设备”。